Inpria desenvolve resistência de óxido metálico em parceira com a SK hynix para reduzir a complexidade de padronização para DRAM de próxima geração
TÓQUIO 2/8/2022 –
A JSR Corporation anunciou hoje a aceleração do seu desenvolvimento em conjunto com a SK hynix Inc. para aplicar Inpria, uma resistência de óxido metálico (Metal Oxide Resist, MOR) de ultravioleta extrema (Extreme Ultraviolet, EUV) da empresa JSR para fabricação de chips DRAM avançados. A plataforma fotorresistente de óxido metálico amplamente patenteada da Inpria para EUV permite que clientes padronizem com eficácia arquiteturas de dispositivos de nós avançados.
As soluções de materiais Inpria entregam o desempenho necessário para reduzir significativamente o custo de padronização EUV e são compatíveis com processos comprovados e configurações de equipamentos. A MOR da Inpria pode ser aplicada com um processo padrão de revestimento rotacional.
“A fabricação com EUV é complexa e exige materiais de ponta”, afirmou BK Lee, chefe de processo de pesquisa e desenvolvimento da SK hynix. “As resistências de óxido de estanho prometem entregar desempenho e um menor custo de fabricaçãoàpróxima geração de DRAM de ponta”.
“A tecnologia da JSR sempre foi baseada na inovação de materiais”, afirmou Tadahiro Suhara, diretor administrativo da JSR. “Estamos comprometidos em acelerar o roteiro tecnológico da SK hynix permitindo a impressão eficiente dos menores recursos. A ciência é pioneira, mas a economia também”.
A EUV já é utilizada na produção comercial nos processos de litografia mais avançados usados na fabricação de semicondutores e,àmedida que o setor se move para dimensões críticas menores na fabricação de chips, espera-se que seu uso aumente significativamente.
A Inpria é líder em resistências EUV de óxido metálico e alcançou a maior resolução do mundo usando sistemas de exposição EUV. A JSR adquiriu a Inpria em 2021 e, com o aumento da adoção da EUV, está investindo na expansão das capacidades de produção e serviços de suporte ao cliente para fabricação em grandes volumes.
Sobre a JSR Corporation
A JSR Corporation é uma empresa de tecnologia de precisão que habilita avanços científicos e possibilita suas aplicações práticas. Sediada em Tóquio, Japão, a JSR enfrenta os desafios tecnológicos mais desafiadores como uma fornecedora global para clientes em indústrias de ponta. Nossos produtos e serviços geram avanços nos semicondutores que alimentam nosso mundo, aceleram o desenvolvimento de novas terapias para doenças que ameaçam vidas e muito mais. Para saber mais sobre como a JSR está enriquecendo sociedades pelo mundo e melhorando a qualidade de vida, acesse www.jsr.co.jp.
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Fonte: BUSINESS WIRE